根据《关于外商投资设立研发中心有关问题的通知》等有关规定，拟设立外商投资研发机构的具体审批程序如下：

首先，外国投资者投资新设研发机构的，应先向工商行政管理部门办理企业名称预先核准登记。

之后，投资者须向上海市外资委提出申请，中外合资、合作企业可由中方申请，独资企业须通过中介单位申请并提交相关文件；

1．设立外商投资研发中心的申请（除基本内容外，还应增加以下内容）：

（1）研究开发的方向、领域、主要任务和实计划；

（2）场所、人员及有关科研条件的情况；

（3）进行研发所需资金的来源、具体用途、数额，相应的财务预算报告；

（4）在投资总额内或自有资金进口自用设备及其配套技术、配件、备件及研发过程中的研究样品、化学试剂清单；

（5）关于研发内容先进性的说明及研发成果的归属。

2．可行性研究报告；

3．投资方的银行资信证明、登记注册证明(复印件)、法定代表人证明(复印件)；

4．(如果中国合营者以国有资产投资)国有资产管理部门对中方拟投入国有资产的评估报告确认文件；

5．投资各方授权代表签署的合同、章程(独资企业只需报章程)；

6．拟设立企业董事会成员名单及合营各方董事委派书；

7．拟设立企业名称预先核准通知书；

8．拟设立企业注册地和经营场所使用证明；

9．审批机关要求报送的其他有关文件。

上述文件除已注明为复印件的，一律为正式文件。非法定代表人签署文件的，应出具法定代表委托授权书。

收到申请材料后，上海市外资委负责外商投资研发机构的审批，对符合条件的予以批准；上海市外资委委托浦东新区人民政府审批和管理浦东新区内的外商投资研发机构；委托张江高科技园区领导小组办公室审批和管理张江高科技园区内的外商投资研发机构。批准的项目报上海市外资委和上海市科学技术委员会(以下简称上海市科委)备案。

最后，获批准设立的外商投资研发机构，应在获得批准之日起1个月内，向工商行政管理部门办理注册登记手续。